国内主要晶圆代工厂（中芯国际+华虹半导体）的清洗公开招标情况

我们统计了国内主要晶圆代工厂（中芯国际+华虹半导体）的清洗公开招标情况，2018 年以 来国产清洗设备占比快速提升。2021 年两晶圆厂公开招标清洗设备共 44 台，其中 22 台为 国产设备，国产化进展顺利。

较高的国产化率得益于国内有众多厂商在湿法领域进行了布局。至纯科技、北方华创、盛美 半导体、芯源微都拥有各自的湿法产品线。至纯能提供到 28 纳米节点全部湿法工艺，主要 单片清洗产品 S3XX 系列可搭载 12 个腔体，产能最高可达 590WPH，18 腔产品亦在研发 中。盛美半导体主要产品为单片 SAPS 兆声波清洗设备、单片 TEBO 兆声波清洗设备、单片 背面清洗设备等。北方华创收购美国半导体设备生产商 Akrion Systems LLC 之后主要产品 为单片及槽式清洗设备。芯源微则在单片湿法设备有较广泛的覆盖，清洗、去胶、刻蚀均有 布局。
根据 VLSI 提供的行业数据，中国大区（含中国台湾地区）前道单片式清洗设备销售额已经 由 2016 年的 6.14 亿美元增长至 2018 年的 7.54 亿美元，年均复合增长率达 10.86%，预计 2023 年将将达到 8.26 亿美元。

中芯国际、等多个客户处通过工艺验证，并已获得 国内多家 Fab 厂商的批量重复订单。公司生产的后道涂胶显影设备与单片式湿法设备，已经 从先进封装领域、LED 领域拓展到 MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域，作为主流 机型应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌、中芯绍兴、中芯宁波等国内一线大厂。近年来，通过借鉴前道产品的先进设计 部分选用日本成熟的技术部件，理念和技术，对后道设备、小尺寸设备的架构进行优化，提升了工艺水平和产品产能。应用 了前道先进设计理念及技术的后道产品产线应用，目前已经成 为客户端的主力量产设备。
以下为半导体湿法制程工艺部件 的日系高质量产品，深圳瑞思昌科技，主要代理日系湿法刻蚀关键性零部件，助力国内湿法刻蚀更快更好的发展
1.PFA超声波涡街流量计
2.氮气（清洁型）加热器
3.兆声波发生器&振荡板
4.在线化学品浓度计
5.化学品循环恒温器
6.高纯PFA加热器
7.高纯石英加热器
8.超纯水加热装备
9.在线厚度检测装备
10.马兰戈尼IPA干燥机